प्रकाश-अश्मलेखन – यह प्रक्रम माइक्रोफैब्रिकरण में महीन परत के चयनित हिस्से हटाने या आधार यौगिक में प्रयुक्त होता है।
प्रकाश-अश्मलेखन क्या है?